作者: 廣東卓為環(huán)境科技有限公司官網(wǎng)發(fā)表時(shí)間:2017-12-05 11:52:31瀏覽量:6936【小中大】
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類無(wú)塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)無(wú)塵車間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
●電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
●電子制造廠無(wú)塵車間垂直流無(wú)塵車間滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無(wú)塵車間不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
●電子制造廠無(wú)塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
● 電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值:
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給無(wú)塵車間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)無(wú)塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)大值:
●保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量
●根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵車間的送風(fēng)量
●向電子制造廠無(wú)塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量